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国家02专项项目内部验收会在中色东方集团召开


发布时间:

2013-11-21 00:00:00

       11月17~18日,由中色东方集团公司作为责任单位,联合六家企业和两家高校共同协作完成的国家“02专项”《极大规模集成电路制造技术及成套工艺》之“300mm硅片工艺用溅射靶材研发与产业化”项目内部验收会在集团公司召开。

       国家重大专项是为了实现国家目标,通过核心技术突破和资源集成,在一定时限内完成的重大战略产品、关键共性技术和重大工程。《极大规模集成电路制造技术及成套工艺》项目,因次序排在国家16个重大专项的第二位,所以在行业内被称为“02专项”。

       国家“02专项”工作开始于2009年,其研发的溅射靶材是生产半导体芯片最重要的原料之一,全球只有日本和美国具备生产先进半导体用溅射靶材的能力。截至目前,该项目突破了多项关键技术,自主设计、制造了高纯原料提纯专用设备,研制出了大尺寸高纯度金属/合金铸锭,且实现了极大规模集成电路300mm硅片工艺用高纯铝/合金、钛、铜、钽靶材制备的国产化,产品已通过多家国内外客户的验证,并开始小批量供货。项目的完成打破了美国和日本对集成电路用高端靶材的垄断,建立了我国民族半导体工业的特色产业链,对推动和发展国家军事工业以及电子信息产品的技术进步和产业安全起到了重大作用。项目至今已实现销售额达2亿多元,申请发明专利48项,制定了行业标准5项,开发新产品、新工艺26项,培养博士9名、硕士16名、技术专家17名,其人才队伍建设、知识产权、产业化等指标均超额完成了02专项合同要求。

       国家“02专项”验收组专家经过听取汇报、资料审查、现场测试、实地检查等环节,对项目的任务完成情况给予了高度评价,并对部分不足之处提出了整改意见。

       集团公司领导张创奇、钟景明表示,集团公司将继续发挥国家02专项牵头单位的作用,根据专家组提出的意见和建议,及时组织相关单位整改落实,做好充分的准备迎接正式的验收工作。

       集团公司领导李彬、陈林参加了项目内部验收会。